能量色散X熒光光譜儀定義及原理
2018-03-06 10:23:30
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能量色散X熒光光譜儀定義及原理
X射線熒光光譜儀是一種可以對多元素進行快速同時測定的儀器。試樣受X射線照射后，其中各元素原子的內殼層（K，L或M層）電子被激發逐出原子而引起電子躍遷，并發射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征X射線。能散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）利用熒光X射線具有不同能量的特點，由探測器本身的能量分辨本領來分辨探測到的X射線。
由光源激發樣品所產生的特征X射線直接進入探測器，探測器將光信號轉化為電信號，由主放大器輸出的脈沖傳送到ADC（模數轉換器），脈沖幅度的模擬信號在這里轉換成數字信號，產生的數字作為與多道分析器（MCA）連接的地址，然后根據這些地址分檢不同的脈沖即X射線的能量，并記錄相應的脈沖數目。
標簽: X射線熒光光譜儀 X射線 測厚儀 膜厚儀
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